Modul zum Spülen einer Prozesskammer für eine Anlage zur Behandlung von Halbleitern.,申请号DE1991608876-传众专利搜索

发明名称	Modul zum Spülen einer Prozesskammer für eine Anlage zur Behandlung von Halbleitern.
摘要
申请公布号	DE69108876(D1)	申请公布日期	1995.05.18
申请号	DE1991608876	申请日期	1991.12.27
申请人	TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US	发明人	MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TEXAS 75248, US
分类号	H01L21/205;C23C16/48;C30B25/10;C30B31/12;C30B31/16;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):C23C16/48	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
地址