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发明名称 Intelligenter programmierbarer Sensor.
摘要
申请公布号 DE69106559(T2) 申请公布日期 1995.05.18
申请号 DE19916006559T 申请日期 1991.03.26
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 TARRANT, RICHARD T., RICHARDSON, TEXAS 75081, US
分类号 G01D21/00;G01D3/02;G01D21/02;G01H17/00;G01J5/02;G01J5/28;G01P15/08;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01P15/08;G01R19/25 主分类号 G01D21/00
代理机构 代理人
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