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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Mehrelement-Dünnfilms mittels Ionenstrahlsputtern.
摘要
申请公布号
DE69018579(D1)
申请公布日期
1995.05.18
申请号
DE19906018579
申请日期
1990.12.04
申请人
HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KANDA, NAOYA, YOKOSUKA-SHI, JP;ISHIKAWA, YASUSHI, HITACHI-SHI, JP;MATSUMOTO, KUNIO, MINAMI-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;ASAO, HIROSHI, YOKOHAMA-SHI, JP
分类号
C23C14/46;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/46;C23C14/06;C23C14/08
主分类号
C23C14/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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