VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER EINZELNEN WAFERSCHEIBE.,申请号DE1991608908-传众专利搜索

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发明名称	VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER EINZELNEN WAFERSCHEIBE.
摘要
申请公布号	DE69108908(D1)	申请公布日期	1995.05.18
申请号	DE1991608908	申请日期	1991.04.24
申请人	SEMITOOL, INC., KALISPELL, MONT., US	发明人	THOMPSON, RAYMON, F., KALISPELL, MT 59901, US;OWCZARZ, ALEKSANDER, KALISPELL, MT 59901, US
分类号	B08B11/02;G11B7/26;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/44	主分类号	B08B11/02
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