| 发明名称 |
DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES |
| 摘要 |
<p>Zařízení je určeno pro nanášení ochranné vsrstvy na povrhcovou plochu optických reflektorů (17) světlometů v oblasti (16) plazmatu, vytvářeného mikrovlnami ve vakuovém recipientu (1), který je opatřen přívodním hrdlem (6). Vakuový recipient (1) má kotoučem (8) z křemenného skla uzavřené průchozí okno (7) pro přívod mikrovlnné energie vytvářené vně skříně (2) recipientu (1) upraveným mikrovlnným generátorem (11). Mikrovlnná energie se akumuluje uvnitř recipientu (1) prostřednictvím na okno (7) připojené mikrovlnné antény (12).ŕ</p> |
| 申请公布号 |
CZ279621(B6) |
申请公布日期 |
1995.05.17 |
| 申请号 |
CS19910000295 |
申请日期 |
1991.02.07 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZ GERHARD DR.;SCHNEIDER GUENTER DIPL. ING. |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C14/28;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
