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发明名称 Anordning og fremgangsmåte for styring av strömmen av halvlederskiver gjennom en halvlederskive-prosessinnretning
摘要
申请公布号 NO944342(A) 申请公布日期 1995.05.16
申请号 NO19940004342 申请日期 1994.11.14
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 POULTNEY, SHERMAN K.;MUMOLA, PETER B.;PRUSAK, JOSEPH P.;GARDOPEE, GEORGE J.;MCHUGH, THOMAS J.
分类号 H01L21/302;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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