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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINER SCHICHT.
摘要
申请公布号
AT121461(T)
申请公布日期
1995.05.15
申请号
AT19900310268T
申请日期
1990.09.19
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MIKOSHIBA, NOBUO;MASU, KAZUYA;TSUBOUCHI, KAZUO
分类号
C23C16/20;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20;C23C16/44
主分类号
C23C16/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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