发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINER SCHICHT.
摘要
申请公布号 AT121461(T) 申请公布日期 1995.05.15
申请号 AT19900310268T 申请日期 1990.09.19
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO;MASU, KAZUYA;TSUBOUCHI, KAZUO
分类号 C23C16/20;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20;C23C16/44 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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