| 发明名称 |
VOLATILE PRECURSORS FOR COPPER CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR950004895(B1) |
申请公布日期 |
1995.05.15 |
| 申请号 |
KR19920016973 |
申请日期 |
1992.09.18 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC. |
发明人 |
NORMAN, JOHN A. |
| 分类号 |
C07F7/02;C07F7/08;C23C16/04;C23C16/18;C23C16/56;C23F1/12;(IPC1-7):C07F1/08 |
主分类号 |
C07F7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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