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经营范围
发明名称
FINE PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
JPH07122509(A)
申请公布日期
1995.05.12
申请号
JP19930270710
申请日期
1993.10.28
申请人
NEC CORP
发明人
BABA MASAKAZU
分类号
H01L21/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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