发明名称 FINE PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH07122509(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930270710 申请日期 1993.10.28
申请人 NEC CORP 发明人 BABA MASAKAZU
分类号 H01L21/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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