| 发明名称 |
ETCHANT FOR FINE PROCESSING OF OXIDE THIN FILM AND METHOD OF THE PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122791(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930288729 |
申请日期 |
1993.10.25 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TOKUDA HITOMOTO |
| 分类号 |
C01G1/00;C01G3/00;C01G23/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/308;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C01G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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