发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07122656(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930264952 申请日期 1993.10.22
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMURA SHOJI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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