| 发明名称 |
SEALED SPIN ETCHING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122529(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930262239 |
申请日期 |
1993.10.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SETSUBI ENG CO LTD |
发明人 |
SAISU KOICHI;KANO KIYOTAKA |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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