| 发明名称 |
GAS CLEANING METHOD OF EPITAXIAL GROWTH FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122493(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930266826 |
申请日期 |
1993.10.26 |
| 申请人 |
IWATANI INTERNATL CORP |
发明人 |
SUZUKI MASANORI;KOIKE KUNIHIKO;NOGAMI CHITOSHI |
| 分类号 |
C09K13/08;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C09K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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