发明名称 CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07122526(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930285738 申请日期 1993.10.21
申请人 SONY CORP 发明人 MATSUNO TOMOYUKI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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