| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122665(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930266583 |
申请日期 |
1993.10.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ARAI KOICHI;ONOZAWA KAZUNORI;KUDO SATOSHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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