| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR TEST PATTERN, FORMING METHOD AND USING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07122610(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
| 申请号 |
JP19930266848 |
申请日期 |
1993.10.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
OGIWARA ATSUSHI |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/331;H01L21/66;H01L21/761;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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