发明名称 |
METHOD OF FORMING QUANTUM THIN WIRE OR QUANTUM BOX |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07122486(A) |
申请公布日期 |
1995.05.12 |
申请号 |
JP19930268589 |
申请日期 |
1993.10.27 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAWADA AKIYOSHI;TANAKA SHIGEHISA;USAGAWA TOSHIYUKI |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/20;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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