发明名称 METHOD OF FORMING QUANTUM THIN WIRE OR QUANTUM BOX
摘要
申请公布号 JPH07122486(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930268589 申请日期 1993.10.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAWADA AKIYOSHI;TANAKA SHIGEHISA;USAGAWA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/20;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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