发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07122554(A) 申请公布日期 1995.05.12
申请号 JP19930264726 申请日期 1993.10.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KINUGAWA MASAAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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