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发明名称 Verfahren zum kontaminationsfreien Zerkleinern von Halbleitermaterial, insbesondere Silicium.
摘要
申请公布号 DE59300120(D1) 申请公布日期 1995.05.11
申请号 DE19935000120 申请日期 1993.05.27
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 84489 BURGHAUSEN, DE 发明人 WOLF, ANDREAS, W-8269 BURGKIRCHEN, DE;KOEPPL, FRANZ, DR., W-8261 ERLBACH, DE
分类号 B02C19/18;B22F9/04;C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 B02C19/18
代理机构 代理人
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