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发明名称 Verfahren zur Einkapselung von Vorrichtungen.
摘要
申请公布号 DE69013056(T2) 申请公布日期 1995.05.11
申请号 DE19906013056T 申请日期 1990.05.10
申请人 THORN EMI P.L.C., LONDON, GB 发明人 WHALLEY, PETER DAVID, BUCKINGHAMSHIRE, HP15 6EP, GB;EVANS, STEPHEN DANIEL, HAYES, MIDDLESEX, UB4 0ND, GB;SHAW, JOHN EDWARD ANDREW, WEST DRAYTON, MIDDLESEX, UB7 7AL, GB
分类号 G01N27/414;H01L21/56;(IPC1-7):H01L23/31 主分类号 G01N27/414
代理机构 代理人
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