发明名称 Vorrichtung zum Reinigen von Siliciumscheiben.
摘要
申请公布号 DE69108689(D1) 申请公布日期 1995.05.11
申请号 DE1991608689 申请日期 1991.12.13
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;PRE-TECH CO., LTD., FUCHU, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NETSU, SHIGEYOSHI, C/O S.E.H. MALAYSIA, ULU KLANG FREE TRADE ZONE, SELANGOR, MY;KAMEYA, MASAKI, C/O S.E.H. MALAYSIA, ULU KLANG FREE TRADE ZONE, SELANGOR, MY;HARADA, YASUYUKI, TAMA-SHI, TOKYO, JP;AMANO, HIROSHI, SHIZUOKA-SHI, SHIZUOKA-KEN, JP
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B08B3/12 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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