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发明名称 Automatische Kantenschleifmaschine.
摘要
申请公布号 DE3650294(D1) 申请公布日期 1995.05.11
申请号 DE19863650294 申请日期 1986.10.16
申请人 SILICON TECHNOLOGY CORP., OAKLAND, N.J., US 发明人 STEERE, ROBERT, BOONTON, NEW JERSEY 07005, US;LEWANDOWSKI, THOMAS, WANAQUE, NEW JERSEY 07465, US
分类号 B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
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