发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauteilen
摘要
申请公布号 DE4010370(C2) 申请公布日期 1995.05.11
申请号 DE19904010370 申请日期 1990.03.30
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOBIKI, MICHIHIRO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L23/34;H01L21/301;H01L23/36;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/36;H01L23/12;H01L21/78;B23K1/00 主分类号 H01L23/34
代理机构 代理人
主权项
地址