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经营范围
发明名称
Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauteilen
摘要
申请公布号
DE4010370(C2)
申请公布日期
1995.05.11
申请号
DE19904010370
申请日期
1990.03.30
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KOBIKI, MICHIHIRO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号
H01L23/34;H01L21/301;H01L23/36;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/36;H01L23/12;H01L21/78;B23K1/00
主分类号
H01L23/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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