发明名称
摘要
申请公布号 JPH0742296(B2) 申请公布日期 1995.05.10
申请号 JP19850064753 申请日期 1985.03.28
申请人 发明人
分类号 C07F3/06;H01L21/365;(IPC1-7):C07F3/06 主分类号 C07F3/06
代理机构 代理人
主权项
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