Abscheidungs- und Dotierungsstoffe, verwendbar bei der Herstellung von hydrogenierten, amorphen Siliziumlegierungen für fotovoltaische und andere Halbleiteranordnungen.
摘要
申请公布号
DE3751209(D1)
申请公布日期
1995.05.11
申请号
DE19873751209
申请日期
1987.02.13
申请人
SOLAREX CORP., ROCKVILLE, MD., US
发明人
DICKSON, CHARLES ROBERT, TRENTON NEW JERSEY 08628, US
