发明名称 HIGH-FREQUENCY GENERATOR OF PLASMA
摘要
申请公布号 RU2035130(C1) 申请公布日期 1995.05.10
申请号 RU19920007715 申请日期 1992.11.24
申请人 TOBOLKIN ALEKSANDR S 发明人 TOBOLKIN ALEKSANDR S
分类号 H05H1/36;(IPC1-7):H05H1/36 主分类号 H05H1/36
代理机构 代理人
主权项
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