ION SOURCE DEVICE,申请号JP19930285994-传众专利搜索

发明名称	ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号	JPH07118859(A)	申请公布日期	1995.05.09
申请号	JP19930285994	申请日期	1993.10.19
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	MIYAKE KOJI;MIKAMI TAKASHI;TAWARA HIDEAKI
分类号	C23C16/50;C23C14/46;C23C16/511;H01J27/08;H01J37/08;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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