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发明名称 PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07118856(A) 申请公布日期 1995.05.09
申请号 JP19930260824 申请日期 1993.10.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIZAWA YASUHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/27;C23C16/505;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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