发明名称 A VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1214767(A) 申请公布日期 1970.12.02
申请号 GB19690045223 申请日期 1969.09.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC COMPANY LIMITED 发明人 NOBUAKI YASUDA;IWAO HIGASHINAKAGAWA;HIROAKI OKAMOTO
分类号 C23C14/00;C23C14/22;C23C14/34 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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