发明名称 APPARATUS FOR GENERATING METAL VAPOR
摘要
申请公布号 JPH07116478(A) 申请公布日期 1995.05.09
申请号 JP19930263265 申请日期 1993.10.21
申请人 LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI;MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 YONAGO AKINOBU;ISHIDA YASUHIRO;URANO SUSUMU
分类号 B01D59/34;(IPC1-7):B01D59/34 主分类号 B01D59/34
代理机构 代理人
主权项
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