| 发明名称 |
Vorrichtung zur Halterung einer Halbleiterscheibe bei der UEbertragung eines Musters durch Kontaktkopie oder durch Projektionsmaskierung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE1646147(A1) |
申请公布日期 |
1971.01.07 |
| 申请号 |
DE19671646147 |
申请日期 |
1967.05.13 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH |
发明人 |
KLAUS HENNINGS,DIPL.-PHYS.DR. |
| 分类号 |
B23Q1/54;B25B11/00;B28D5/00;B28D7/04;G03F7/20;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q1/54 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
