发明名称 Vorrichtung zum Vakuum-Aufdampfen.
摘要
申请公布号 DE69104000(T2) 申请公布日期 1995.05.04
申请号 DE19916004000T 申请日期 1991.06.19
申请人 MITSUBISHI JUKOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP;NISSHIN STEEL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KENICHI, YANAGI, C/O HIROSHIMA TECHNICAL INSTITUTE, NISHI-KU, HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP;TOSHIO, TAGUCHI, C/O HIROSHIMA TECHNICAL INSTITUTE, NISHI-KU, HIROSHIMA-SHI, HIROSHIMA-KEN, JP;YOSHITERU, MORIYAMA, C/O SAKAI WORKS, SAKAI-SHI, OSAKA 592, JP;MITSUHIKO, SAKO, C/O SAKAI WORKS, SAKAI-SHI, OSAKA 592, JP;TAKUYA, AIKO, C/O SAKAI WORKS, SAKAI-SHI, OSAKA 592, JP;SHINJI, KAMURA, C/O SAKAI WORKS, SAKAI-SHI, OSAKA 592, JP;SHINJI, KAMURA, C/O SAKAI WORKS, SAKAI-SHI, OSAKA 592, JP
分类号 C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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