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发明名称 Verfahren zur Abscheidung von Dünnschichten.
摘要
申请公布号 DE69018159(D1) 申请公布日期 1995.05.04
申请号 DE19906018159 申请日期 1990.07.26
申请人 SAINT-GOBAIN VITRAGE INTERNATIONAL, COURBEVOIE, FR 发明人 BALIAN, PIERRE, F-75015 PARIS, FR;ROUSSEAU, JEAN-PAUL, F-92100 BOULOGNE, FR
分类号 C23C16/00;C03C17/38;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/511;(IPC1-7):C03C17/38 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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