| 摘要 |
<p>Cavité scellée hermétiquement (40), micro-usinée en surface et/ou en masse et contenant au moins une structure suspendue dans un milieu sous basse pression et procédé de fabrication correspondant. La cavité (40) est limitée par une membrane à film mince (21) et par un substrat (23) pouvant présenter un évidement. Le procédé peut s'utiliser pour la fabrication par exemple de tubes à vide à émission thermo-ionique, de tubes remplis de gaz et de dispositifs électromagnétiques. Dans les tubes à vide, la cathode est un filament réfractaire suspendu. D'autres électrodes peuvent également être suspendues. Dans les dispositifs électromécaniques, les éléments suspendus peuvent être des poutres en porte-à-faux pouvant effectuer un mouvement à friction faible.</p> |
