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发明名称 Herstellungsverfahren für ein Halbleiter-Bauelement und musterbildende Beschichtungslösung dafür.
摘要
申请公布号 DE69015381(T2) 申请公布日期 1995.05.04
申请号 DE19906015381T 申请日期 1990.02.28
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAKAMURA, YUKO, TAMA-KU, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 214, JP;TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, TOKYO 194, JP
分类号 G03F7/004;G03F7/039;H01L21/311;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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