Selbstausrichtende Justiermarke für die Herstellung von integrierten Schaltungen.
摘要
申请公布号
DE69015494(T2)
申请公布日期
1995.05.04
申请号
DE1990615494T
申请日期
1990.07.20
申请人
AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US
发明人
KOSTELAK, ROBERT LOUIS, JR., MORRIS PLAINS, NEW JERSEY 07950, US;LYNCH, WILLIAM THOMAS, SUMMIT, NEW JERSEY 07901, US;VAIDYA, SHEILA, WATCHUNG, NEW JERSEY 07060, US
