发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68917995(T2) 申请公布日期 1995.05.04
申请号 DE1989617995T 申请日期 1989.05.31
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VAN LAARHOVEN, JOSEPHUS MARTINUS F.G., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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