纳米度量计

摘要

用于以纳米精度测量物体的位移的设备，它包括：用于初级电信号的rf源(50)；传感器(24)，用于产生中间信号；相移装置(56)，它与中间信号作用，以使物体的位移使相移装置(56)将中间信号的路径长度改变一个与该位移直接有关的量；相位传递装置(60)，使中间信号的相位被传递到次级信号；以及，相位检测器(62)，用于测量次级信号的相位在物体位移时相对于初级信号的改变。

主权项

1.用于测量物体的位移的设备，包括：一个射频(rf)源，用于产生一个初级稳定rf电信号，一个传感装置，用于至少利用一部分初级rf电信号来产生一个中间信号，所述中间信号的波长小于初级rf电信号的波长，一个相移装置，它在该设备使用时与中间信号进行作用并以这样的方式与物体相联系，即物体的位移使相移装置将中间信号的路径长度改变了一个与该位移直接有关的量，一个相位传递装置，用于至少部分地利用与相移装置发生作用之后的中间信号来以这样的方式产生一个次级稳定rf电信号，即使得经过作用的该中间信号的相位被传递到该次级rf电信号，以及一个相位检测器，用于测量次级rf电信号的相位在物体位移时相对于初级rf电信号的改变。