Method and device for treating workpieces in form of disks with a fluid.

摘要

Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von scheibenförmigen Werkstücken (4) mit einer Flüssigkeit in einer gasdicht verschließbaren Kammer (1), wobei die in einer Transporthorde (3) gestapelten Werkstücke in der geschlossenen Kammer mit der zugeführten Flüssigkeit in Kontakt gebracht werden, die Flüssigkeit aus der Kammer abgeführt wird und von der Flüssigkeit stammende schädliche Dämpfe oder Gase ausgewaschen und in gelöstem Zustand aus der Kammer abgeführt werden. <IMAGE>