| 发明名称 |
Chemical mechanical planarization of shallow trenches in semiconductor substrates. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0637065(A3) |
申请公布日期 |
1995.05.03 |
| 申请号 |
EP19940305559 |
申请日期 |
1994.07.27 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORP |
发明人 |
NASR ANDRE ILYAS;COOPERMAN STEVEN SCOTT |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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