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发明名称 HEATER BLOCK FOR BONDER USE
摘要
申请公布号 KR950003483(Y1) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 KR19950000193U 申请日期 1995.01.09
申请人 SHINKAWA K. K. 发明人 UEHARA, KOHICHI;TAKEUCHI, TAKASHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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