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发明名称 Photoresist compositions.
摘要
申请公布号 EP0284868(B1) 申请公布日期 1995.05.03
申请号 EP19880104019 申请日期 1988.03.14
申请人 MICROSI, INC. (A DELAWARE CORPORATION) 发明人 CRIVELLO, JAMES VINCENT;O'BRIEN, MICHAEL JOSEPH;LEE, JULIA LAM
分类号 G03C1/72;C08K5/00;C08L61/04;C08L61/06;G03F7/00;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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