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发明名称 X-Y STAGE MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH07112340(A) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 JP19930292338 申请日期 1993.10.19
申请人 MORITETSUKUSU:KK 发明人 SATO MASAO;KAI TSUYOSHI
分类号 G12B5/00;B23Q1/00;B23Q1/54;(IPC1-7):B23Q1/54 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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