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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07115199(A) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 JP19940201128 申请日期 1994.08.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ONGA SHINJI;OKADA TAKAKO;OKANO HARUO;YAMABE KIKUO;HAZAMA HIROAKI;INOUE KOICHIRO;MATSUSHITA YOSHIAKI
分类号 H01L21/8247;H01L21/00;H01L21/316;H01L29/00;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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