| 发明名称 |
COLLIMATOR, DEVICE AND METHOD FOR FORMING THIN FILM, AND METHOD FOR FORMING WIRING OF SEMI-CONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07113172(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19930280473 |
申请日期 |
1993.10.14 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TAGUCHI MITSURU;SUMI HIROBUMI |
| 分类号 |
C23C14/44;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/44;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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