| 发明名称 |
COATING LIQUID APPLYING DEVICE TO SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07112151(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19940012139 |
申请日期 |
1994.01.07 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
BABA TAKAYUKI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C3/18;B05C13/00;H01L21/30;(IPC1-7):B05C3/18 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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