发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07115044(A) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 JP19930257983 申请日期 1993.10.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UEDA SATOSHI;HIRAO HIDEJI;YANO KOSAKU
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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