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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07115125(A) 申请公布日期 1995.05.02
申请号 JP19930280535 申请日期 1993.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 MORIOKA SHOJI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L27/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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