| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM CAPACITOR AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT INCLUDING THE THIN FILM CAPACITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07115032(A) |
申请公布日期 |
1995.05.02 |
| 申请号 |
JP19930284467 |
申请日期 |
1993.10.19 |
| 申请人 |
SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
MASUKO AKIHIRO;YAMADA NOBUAKI;SAKAKURA YASUHIKO |
| 分类号 |
H01G4/33;H01G4/06;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01G4/06 |
主分类号 |
H01G4/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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