发明名称
摘要
申请公布号 JPH0740573(B2) 申请公布日期 1995.05.01
申请号 JP19870015855 申请日期 1987.01.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/50;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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